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產品詳情
  • 產品名稱:昆山HORIBA堀場光纖型化學藥液濃度計CS-100F1

  • 產品型號: CS-100F1
  • 產品廠商:HORIBA堀場
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簡單介紹:
昆山HORIBA堀場光纖型化學藥液濃度計CS-100F1 CS-100F1 系列在CS-100的基礎上配備光纖。樣品單元直接集成到于清洗系統的管路,并使用光纖電纜傳輸光信號,提供實時在線測量。每臺濃度計可實現多達四種藥液的測量,可以在單槽或單晶圓清洗系統中檢測多種化學藥液。
詳情介紹:

昆山HORIBA堀場光纖型化學藥液濃度計CS-100F1國內各區域供應

CS-100F1 系列


光纖型化學藥液濃度計

CS-100F1 系列在CS-100的基礎上配備光纖。樣品單元直接集成到于清洗系統的管路,并使用光纖電纜傳輸光信號,提供實時在線測量。每臺濃度計可實現多達四種藥液的測量,可以在單槽或單晶圓清洗系統中檢測多種化學藥液。

可測量化學藥液示例



  • 使用在線樣品單元實時跟進濃度信息
    使用直接連接清洗系統主管路的在線樣品單元實時檢測濃度。
  • 多達四種藥液的多重檢測
    每臺濃度計可測量多達四種化學藥液或濃度范圍。用戶可單次檢測多種化學藥液的濃度(或不同配比的化學藥液),如單槽或單晶圓清洗系統。
  • 更高精度的樣品單元類型
    為保證穩定性,還提供一種樣品單元類型,支持使用濃度計輸出信號反饋進行控制。該濃度計還支持將化學藥液濃度保持在可接受的范圍內,并消除不必要的化學藥液變化。
  • 電氣單元和測量單元完全分離,**安裝
  • 符合 RoHS 標準

    Schematics

    Concentration monitor

    Inline cell                                                                                     Cell unit

                  



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