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產品詳情
簡單介紹：
它是一個具有模式匹配功能和 2um 或更小的 XY 定位精度的系統。
詳情介紹：
- 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口
- 實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊
- 支持半導體工藝的高吞吐量要求
- 支持槽口對齊功能
- 小尺寸規格
- TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度
- 晶圓厚度Φ300mm尺寸
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