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  • 旋轉涂布機涂布機.com（Mikasa）的產品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。
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  • 支持擺動噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進行編程輸入， 操作簡單*多可擴充至 3 種藥液 連續進行藥液、沖洗、排液處理 內置藥液壓力推送泵
  • 支持擺動噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進行編程輸入， 操作簡單*多可擴充至 3 種藥液 連續進行藥液、沖洗、排液處理 內置藥液壓力推送泵
  • 支持擺動噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進行編程輸入， 操作簡單*多可擴充至 3 種藥液 連續進行藥液、沖洗、排液處理 內置藥液壓力推送泵
  • ■ 手動操作、接觸式對準曝光機。 ■ 依照不同需求以及成本考量?有準直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。 ■ 有可對應5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機種。 ■ Mask Holder?載臺的更換作業簡單易行，可在1分鐘內完成，適合用于研究開發。 ■ 對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。
  • ■ 特點 ■ 手動操作、接觸式對準曝光機。 ■ 依照不同需求以及成本考量?有準直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。 ■ 有可對應5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機種。 ■ Mask Holder?載臺的更換作業簡單易行，可在1分鐘內完成，適合用于研究開發。 ■ 對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。
  • 日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B150 系列 ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉控制系統不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉數（0~5，000rpm）和到達旋轉數的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
  • 日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B100 系列 ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉控制系統不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉數（0~5，000rpm）和到達旋轉數的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
  • 代理日本MIKASA旋轉涂布機MS-B100
  • ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉控制系統不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉數（0~5，000rpm）和到達旋轉數的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
  • ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉控制系統不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉數（0~5，000rpm）和到達旋轉數的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
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蘇公網安備 32050502000409號
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